研磨是一种精细加工办法。其意义是:研磨使用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒,经过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工面进行的精整加工。依据加工办法的机理和特色,最根本的加工办法能够分为: 去除加工、 结合加工和变形加工三大类。 但是,在最新的多性能杂乱形态的元件加工中,往往是上述几种加工法的复合效果。 1微量资料去除的机械效果及化学效果设想 资料去除的最小单位是1 层原子的话,那么,最根本的资料去除是将表面的一层原子与内部的原子切开。 机械加工必然残留有加工蜕变层,加工中还伴随着化学反应等杂乱现象56,资料去除的原理是从一层原子到数层原子甚至数十层原子几种状态的复合。单个磨粒的磨削模型,能够用磨粒对工件的机械效果的动作来描绘,在加工中的化学反应结果对资料的去除及减小加工蜕变层可能是有利的。
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