精密零件加工精度以纳米，甚至以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。

  在此阶段采用大的切削速度，小的进给量和切削深度，切除上道工序所留下的精加工余量，使零件表面达到图样的技术要求。选择精密零件加工，不仅能有效改善材料品质、零件精度，发挥其机能，还能使零件的耐用程度大大提高，促使整个机械的品质得到改善。

  精密机械加工对提高零件的尺寸精度也有好处，所以直接的效果就是可以使得零件达成互换性，进而增加零件的耐磨性和使用寿命。对于精密零部件的加工主要是尺寸方面的要求，比如圆柱直径是多少，有严格的要求，正负误差在规定要求范围之内才是合格零件，否则都是不合格零件。

  长宽高也有具体严格要求，正负误差同样有规定，比如一个内嵌式圆柱体，如果直径太大，超过误差允许范围内，就会造成插不进去的情况，如果实际直径太小，超过误差允许负值下限了，就会造成插进去太松，不牢固的问题发生。精密机械加工，并不是什么材料都可以进行精密加工的，比如一些硬度太大的材料如果超过了加工机件的硬度，有些特殊材料是不适宜精密精密加工的